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加快打造原始創(chuàng)新策源地，加快突破關鍵核心技術，努力搶占科技制高點，為把我國建設成為世界科技強國作出新的更大的貢獻。

——習近平總書記在致中國科學院建院70周年賀信中作出的“兩加快一努力”重要指示要求

面向世界科技前沿、面向經(jīng)濟主戰(zhàn)場、面向國家重大需求、面向人民生命健康，率先實現(xiàn)科學技術跨越發(fā)展，率先建成國家創(chuàng)新人才高地，率先建成國家高水平科技智庫，率先建設國際一流科研機構。

——中國科學院辦院方針

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【中國科學報】微電子所與愛發(fā)科集團共建聯(lián)合實驗室

2017-06-19 中國科學報科訊

【字體：大中小】

語音播報

　　6月14日，中國科學院微電子研究所與日本愛發(fā)科集團（ULVAC）聯(lián)合實驗室簽字儀式在中科院微電子所舉行。中科院微電子所所長葉甜春與愛發(fā)科集團代表取締役執(zhí)行役員社長小日向久治簽署協(xié)議。

　　株式會社ULVAC是以在各領域獲得廣泛應用的真空技術為基礎，以開創(chuàng)精細加工工藝為追求目標的研究開發(fā)綜合企業(yè)。其產(chǎn)品從平板顯示、電子半導體、太陽電池作用的真空設備到標準零部件、材料及真空鍍膜等業(yè)務。目前在中國已經(jīng)設立了15家公司，未來在中國的投資還會不斷擴大，在以電子技術和通訊技術為首的包括能源、環(huán)保、運輸、醫(yī)藥、食品、化工、生物工程等廣闊的領域中，株式會社ULVAC以設備生產(chǎn)為中心，提供先進的真空技術產(chǎn)品。

　　這次成立聯(lián)合實驗室，雙方運用中科院微電子所擁有的微電子器件有關的技術和愛發(fā)科集團擁有的與真空鍍膜設備及工藝技術有關的技術，在MEMS、存儲器、功率器件及傳感器領域，針對開發(fā)主題共同實施開發(fā)，互相協(xié)助力求其實用化。雙方一致認為，彼此具有非常強的優(yōu)勢互補關系，是充分發(fā)揮雙方各自特長、實現(xiàn)產(chǎn)學研無縫對接、可同時滿足核心技術研究和產(chǎn)業(yè)化需要的最佳途徑。雙方將成立聯(lián)合實驗室，在資源共享、技術開發(fā)、人才交流與培訓等方面進行深入合作，以支持和推動在相關核心技術方面的研究和積累。聯(lián)合實驗室將成為雙方合作的窗口和新技術科研成果的實驗基地。

　　聯(lián)合實驗室將利用ULVAC制造SME-200型濺射設備開展微電子工藝開發(fā)，ULVAC SME-200設備是一款多功能濺射設備，最多可搭載八個腔室，可針對研究開發(fā)和少量生產(chǎn)用途，在8英寸硅基板上進行沉積金屬、氧化物、氮化物薄膜等先進材料，設備可實現(xiàn)全自動搬送、數(shù)據(jù)自動存儲、保證工藝結(jié)果穩(wěn)定性等功能。通過利用該設備，雙方將在MEMS、存儲器、功率器件及傳感器等領域展開工藝研發(fā)合作。

　　聯(lián)合實驗室的成立，體現(xiàn)了愛發(fā)科集團大力推進本土化產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略方針。與中科院微電子所共同合作，聯(lián)合實驗將針對中國正在大力發(fā)展的電子半導體產(chǎn)業(yè)，提高研發(fā)實力，加快推進前沿技術產(chǎn)業(yè)化，以產(chǎn)學研結(jié)合的模式，實施人才與科技創(chuàng)新雙輪驅(qū)動戰(zhàn)略，為國內(nèi)的半導體企業(yè)提供技術支持、工藝驗證的平臺。

　?。ㄔd于《中國科學報》 2017-06-19 第5版創(chuàng)新周刊)

　　6月14日，中國科學院微電子研究所與日本愛發(fā)科集團（ULVAC）聯(lián)合實驗室簽字儀式在中科院微電子所舉行。中科院微電子所所長葉甜春與愛發(fā)科集團代表取締役執(zhí)行役員社長小日向久治簽署協(xié)議。
　　株式會社ULVAC是以在各領域獲得廣泛應用的真空技術為基礎，以開創(chuàng)精細加工工藝為追求目標的研究開發(fā)綜合企業(yè)。其產(chǎn)品從平板顯示、電子半導體、太陽電池作用的真空設備到標準零部件、材料及真空鍍膜等業(yè)務。目前在中國已經(jīng)設立了15家公司，未來在中國的投資還會不斷擴大，在以電子技術和通訊技術為首的包括能源、環(huán)保、運輸、醫(yī)藥、食品、化工、生物工程等廣闊的領域中，株式會社ULVAC以設備生產(chǎn)為中心，提供先進的真空技術產(chǎn)品。
　　這次成立聯(lián)合實驗室，雙方運用中科院微電子所擁有的微電子器件有關的技術和愛發(fā)科集團擁有的與真空鍍膜設備及工藝技術有關的技術，在MEMS、存儲器、功率器件及傳感器領域，針對開發(fā)主題共同實施開發(fā)，互相協(xié)助力求其實用化。雙方一致認為，彼此具有非常強的優(yōu)勢互補關系，是充分發(fā)揮雙方各自特長、實現(xiàn)產(chǎn)學研無縫對接、可同時滿足核心技術研究和產(chǎn)業(yè)化需要的最佳途徑。雙方將成立聯(lián)合實驗室，在資源共享、技術開發(fā)、人才交流與培訓等方面進行深入合作，以支持和推動在相關核心技術方面的研究和積累。聯(lián)合實驗室將成為雙方合作的窗口和新技術科研成果的實驗基地。
　　聯(lián)合實驗室將利用ULVAC制造SME-200型濺射設備開展微電子工藝開發(fā)，ULVAC SME-200設備是一款多功能濺射設備，最多可搭載八個腔室，可針對研究開發(fā)和少量生產(chǎn)用途，在8英寸硅基板上進行沉積金屬、氧化物、氮化物薄膜等先進材料，設備可實現(xiàn)全自動搬送、數(shù)據(jù)自動存儲、保證工藝結(jié)果穩(wěn)定性等功能。通過利用該設備，雙方將在MEMS、存儲器、功率器件及傳感器等領域展開工藝研發(fā)合作。
　　聯(lián)合實驗室的成立，體現(xiàn)了愛發(fā)科集團大力推進本土化產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略方針。與中科院微電子所共同合作，聯(lián)合實驗將針對中國正在大力發(fā)展的電子半導體產(chǎn)業(yè)，提高研發(fā)實力，加快推進前沿技術產(chǎn)業(yè)化，以產(chǎn)學研結(jié)合的模式，實施人才與科技創(chuàng)新雙輪驅(qū)動戰(zhàn)略，為國內(nèi)的半導體企業(yè)提供技術支持、工藝驗證的平臺。
　　（原載于《中國科學報》 2017-06-19 第5版創(chuàng)新周刊)

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