極大規(guī)模集成電路關(guān)鍵技術(shù)研究集體
研究集體推薦單位：中國科學(xué)院微電子研究所
研究集體主要科技貢獻(xiàn)
該研究集體在國家科技重大專項支持下，牽頭組織全國性產(chǎn)學(xué)研用聯(lián)盟，聯(lián)合北京大學(xué)、清華大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、中芯國際、武漢新芯等產(chǎn)學(xué)研用單位，通過5年攻關(guān)，實現(xiàn)了22納米高K介質(zhì)/金屬柵工程、14納米FinFet器件、新型閃存器件、可制造性設(shè)計等關(guān)鍵技術(shù)的突破，研究水平邁入世界前列；提出了“專利指導(dǎo)下的研發(fā)戰(zhàn)略”，在關(guān)鍵工藝模塊上形成了較為系統(tǒng)的知識產(chǎn)權(quán)布局（專利2406項，含國際專利483項），并首次實現(xiàn)了向大型制造企業(yè)的許可轉(zhuǎn)讓，開始進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化開發(fā)階段。這一成果的取得，標(biāo)志著我國在集成電路這一高度全球化的高科技競爭領(lǐng)域前沿開始擁有一席之地，將為我國納米級極大規(guī)模集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)升級提供有力的技術(shù)支撐。
研究集體突出貢獻(xiàn)者及主要科技貢獻(xiàn)
葉甜春
負(fù)責(zé)技術(shù)路線整體設(shè)計與規(guī)劃、知識產(chǎn)權(quán)系統(tǒng)布局和實施，組建“產(chǎn)學(xué)研”聯(lián)合研發(fā)團(tuán)隊，推進(jìn)技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化。
陳大鵬
負(fù)責(zé)組織22和14納米關(guān)鍵工藝技術(shù)研發(fā)，重點攻關(guān)任務(wù)推進(jìn)，組建集成電路先導(dǎo)工藝公共研發(fā)平臺。
朱慧瓏
負(fù)責(zé)技術(shù)攻關(guān)，提出了“專利指導(dǎo)下的研發(fā)戰(zhàn)略”，領(lǐng)導(dǎo)形成了20-14納米主要專利組合，在高K/金屬柵和FinFET方面?zhèn)€人專利申請數(shù)量全球排名分別為第一和第五。
研究集體主要完成者及工作單位
趙 超 中國科學(xué)院微電子研究所
閆 江 中國科學(xué)院微電子研究所
楊士寧 中國科學(xué)院微電子研究所/武漢新芯集成電路有限公司
徐秋霞 中國科學(xué)院微電子研究所
劉 明 中國科學(xué)院微電子研究所
陳 嵐 中國科學(xué)院微電子研究所
殷華湘 中國科學(xué)院微電子研究所
鐘匯才 中國科學(xué)院微電子研究所
尹海洲 中國科學(xué)院微電子研究所
李俊峰 中國科學(xué)院微電子研究所
王文武 中國科學(xué)院微電子研究所
霍宗亮 中國科學(xué)院微電子研究所
李春龍 中國科學(xué)院微電子研究所
王紅麗 中國科學(xué)院微電子研究所
王大海 中國科學(xué)院微電子研究所
阮文彪 中國科學(xué)院微電子研究所
唐 波 中國科學(xué)院微電子研究所
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