獲獎(jiǎng)團(tuán)隊(duì)：集成電路用300mm硅片關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化
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獲獎(jiǎng)團(tuán)隊(duì)名稱：
集成電路用300mm硅片關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化
推薦單位：
上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
（責(zé)任編輯：侯茜）
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